如何對納米位移臺進(jìn)行零位校準(zhǔn)？
對納米位移臺進(jìn)行零位校準(zhǔn)（又稱為“回零”或“原點校準(zhǔn)”）是確保其位置測量精度和重復(fù)性的關(guān)鍵步驟，特別是在進(jìn)行高精度掃描、定位或?qū)R任務(wù)時。以下是常見的零位校準(zhǔn)方法和注意事項：
常用零位校準(zhǔn)方法：
1. 使用內(nèi)建零位傳感器（限位開關(guān)）
很多納米位移臺內(nèi)置原點或限位傳感器。
校準(zhǔn)方法：
啟動“回零”指令，控制器會以低速向一個方向移動；
觸發(fā)原點開關(guān)后停止并設(shè)當(dāng)前位置為零位；
若有需要，系統(tǒng)會再做微調(diào)（反向回退再定位）以提高精度。
2. 手動設(shè)定當(dāng)前位移為零
適用于沒有物理原點的系統(tǒng)，或者需要以當(dāng)前點為參考零點的情況。
校準(zhǔn)方法：
在控制軟件或指令行輸入 SetPosition = 0，將當(dāng)前位置設(shè)置為邏輯零點；
常用于相對運(yùn)動控制中。
3. 使用外部參照標(biāo)記或干涉儀校準(zhǔn)
在高精度應(yīng)用中，可使用激光干涉儀或光學(xué)標(biāo)志物輔助校準(zhǔn)。
方法：
將位移臺移動到干涉儀零差位置；
設(shè)置當(dāng)前位置為系統(tǒng)“零點”；
適用于納米級重復(fù)定位任務(wù)。
? 校準(zhǔn)時的注意事項：
確保無外力或負(fù)載干擾，樣品應(yīng)固定牢靠；
使用閉環(huán)控制模式，保證反饋準(zhǔn)確；
若平臺具有多軸聯(lián)動，各軸應(yīng)獨立回零，避免互相干擾；
若環(huán)境溫度變化較大，應(yīng)在恒溫條件下校準(zhǔn)，以減少漂移；
對于真空或強(qiáng)磁環(huán)境下的使用，需使用專用無感或低干擾傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)。
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