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    1. 化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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      化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

      多功能電感耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是由我團(tuán)隊成員自主研發(fā),具有自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。本系統(tǒng)具有低溫?zé)o催化生長石墨烯,也可對石墨烯進(jìn)行缺陷檢測與修復(fù)及各向異性刻蝕等功能,也可用于生長其他二維材料。研究成果發(fā)表于各類頂級期刊。
      等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)

      等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)

      等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),三溫區(qū)CVD系統(tǒng),生長樣品腔的管徑60-120mm,它是由高溫管式爐、多路高精度流量控制與供氣系統(tǒng)、機(jī)械泵、真空密封及測量系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)組成,極...
      等離子體修飾系統(tǒng)

      等離子體修飾系統(tǒng)

      等離子體修飾系統(tǒng),利用三溫區(qū)管式爐,通過氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù),在藍(lán)寶石襯底上外延生長了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜。在生長過程中引入氧氣,不僅能夠有效的阻止三氧化鉬源中...
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