納米位移臺(tái)的電氣噪聲如何影響位移精度
納米位移臺(tái)是一種高精度運(yùn)動(dòng)控制設(shè)備，常用于需要高分辨率和精度的應(yīng)用中，如光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、掃描探針顯微鏡、半導(dǎo)體制造、和單分子操縱等。然而，電氣噪聲對(duì)納米位移臺(tái)的位移精度有著顯著的影響，這種影響可能會(huì)降低系統(tǒng)的整體性能，并導(dǎo)致測(cè)量和定位誤差。
電氣噪聲的來(lái)源
電源噪聲: 來(lái)自電源的電壓波動(dòng)或紋波（如開關(guān)電源...
如何在納米位移臺(tái)中設(shè)計(jì)抗振動(dòng)和抗噪聲措施
在納米位移臺(tái)中設(shè)計(jì)抗振動(dòng)和抗噪聲措施是確保其高精度和高穩(wěn)定性的重要環(huán)節(jié)。納米位移臺(tái)的性能容易受到環(huán)境振動(dòng)和電氣噪聲的影響，導(dǎo)致精度下降和誤差增加。以下是一些有效的抗振動(dòng)和抗噪聲措施的設(shè)計(jì)策略：
1. 抗振動(dòng)措施
a. 機(jī)械隔振
隔振平臺(tái): 使用被動(dòng)或主動(dòng)隔振平臺(tái)（如氣浮隔振平臺(tái)、彈簧隔振平臺(tái)）將納米位移臺(tái)與...