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    1. 新聞

      當(dāng)前位置:

      如何判斷納米位移臺是否需要重新校準(zhǔn)?

      判斷納米位移臺是否需要重新校準(zhǔn),通常依據(jù)以下幾個(gè)方面的表現(xiàn)和檢測指標(biāo)來評估:
      一、位移精度下降或誤差超標(biāo)
      重復(fù)定位誤差增大:同一位置多次定位結(jié)果不一致,超出廠商提供的重復(fù)精度范圍。
      線性度變差:位移輸出與輸入指令不再呈現(xiàn)良好的線性關(guān)系,出現(xiàn)偏移或非線性失真。
      出現(xiàn)系統(tǒng)漂移:在靜止?fàn)顟B(tài)下,反饋?zhàn)x數(shù)緩慢發(fā)生偏移,提示零點(diǎn)穩(wěn)定性降低。
      二、系統(tǒng)反饋與實(shí)際偏差變大
      閉環(huán)反饋值不匹配:傳感器讀數(shù)與設(shè)定指令或目標(biāo)位移出現(xiàn)顯著偏差。
      軌跡不再準(zhǔn)確:掃描過程中軌跡出現(xiàn)偏斜、偏移、彎曲等不應(yīng)有的異常。
      三、環(huán)境變化或設(shè)備搬遷后
      溫濕度環(huán)境大幅變化:環(huán)境溫度、濕度變化會影響壓電材料、傳感器靈敏度與機(jī)械結(jié)構(gòu)尺寸,從而影響校準(zhǔn)狀態(tài)。
      搬運(yùn)或震動后使用:設(shè)備曾被移動、運(yùn)輸或受到震動沖擊,可能造成傳感器位置、限位參考點(diǎn)或機(jī)構(gòu)輕微移位。
      長時(shí)間未校準(zhǔn):超過廠商建議的校準(zhǔn)周期(如6個(gè)月或1年),尤其在精度要求較高的應(yīng)用中。
      四、使用過程中出現(xiàn)以下情況
      掃描圖像出現(xiàn)變形(SEM/AFM 應(yīng)用中典型):
      比如長方形圖像被拉伸成菱形、圓形變橢圓。
      不能達(dá)到指定行程或某一方向運(yùn)動行程減小。
      運(yùn)動過程中產(chǎn)生突跳、卡滯感,提示反饋控制或機(jī)械傳動偏離正常狀態(tài)。
      五、通過標(biāo)準(zhǔn)樣品驗(yàn)證誤差
      使用標(biāo)準(zhǔn)參考樣品(如具有已知間距的臺階、晶格等)進(jìn)行掃描或測量:
      如果測得的尺寸偏離標(biāo)準(zhǔn)值,說明系統(tǒng)校準(zhǔn)已偏離。
      多點(diǎn)標(biāo)定誤差明顯增加,也可作為重新校準(zhǔn)的依據(jù)。

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