壓電二維納米位移臺(tái)

壓電二維納米位移臺(tái)，XYMF-133-100A平移臺(tái)實(shí)現(xiàn)了在XY二維空間上的準(zhǔn)確定位，具有分辨率高，行程大（XY軸行程±50mm），帶有高精度及高分辨率的位置反饋。操作簡(jiǎn)單，定位準(zhǔn)確，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動(dòng)操作及定位的各個(gè)領(lǐng)域。

壓電二維納米位移臺(tái)使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到亞納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作，并且在宏觀行程范圍內(nèi)同樣達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持開(kāi)環(huán)閉環(huán)控制。

XYMF-133-100A技術(shù)參數(shù)